Prof. Dr.-Ing. Wolfgang Wehl

Prof. Dr.-Ing. Wolfgang Wehl

Fakultät Mechanik und Elektronik | Mechatronik und Robotik (B.Eng.)  
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    Lehrangebot

    Vorlesung für Mikrosystemtechnik

    Obwohl die Anfänge der Mikrosystemtechnik erst rund dreißig Jahren zurück liegen, ist ohne sie heute genauso wie das Internet kein technischer Fortschritt denkbar. Das mit Mikrosystemen vollgestopfte Smartphone ist sicher das bekannteste Produkt. Indes, heute leisten unzählige Mikrosysteme – meist im Verborgenen – auch in jedem Kraftfahrzeug sowie in allen anderen modernen mechatronischen Produkten unverzichtbare Dienste. Last but not least sind Solarzellen und Leuchtdioden, beides Kinder der Mikrosystemtechnik, wichtige Technologien, die Klimakatastrophe noch abzuwenden.

    In der 4-SWS-Vorlesung Mikrosystemtechnik erläutere ich zunächst die wichtigsten Grundlagen zur Physik, Herstellung und Qualitätssicherung von Mikrosystemen. Dabei stelle ich auch Vieles vor, was sicher für jeden Ingenieur der Mechatronik früher oder später nützlich sein wird.

    Im zweiten Vorlesungsteil erkläre ich Ihnen Aufbau und Funktion der wichtigsten sensorischen und aktorischen Anwendungen von Mikrosystemen. Genannt seinen hier Sensoren zur Messung von Druck, Beschleunigung, Drehrate und Licht (einschließlich Solarzellen). Aktorische Produkte wären z. B. Druckköpfe, Motoren, Getriebe und Leuchtdioden.

    Vorlesungthemen

    1. Einführung
    2. Konzepte und Prinzipien
    3. Werkstoffe und Substratherstellung
    4. Vakuumtechnik
    5. Schichterzeugung
    6. Lithografie
    7. Schichtstrukturierung
    8. Schichtmodifikation
    9. Mikromechanik
    10. Prozesse
    11. Reinraumtechnik
    12. Messtechnik
    13. Piezoresistive Sensoren
    14. Kapazitive Sensoren
    15. Optische Sensoren
    16. Sonstige Sensoren
    17. Einführung Aktorik
    18. Piezoelektrische Elemente
    19. Druckköpfe
    20. Optische Aktoren (LED, DLP)
    21. Sonstige Aktoren und passive Mikrosysteme
    22. Aufbau- und Verbindungstechnik (optional)

    Kurzbiografie

    • Geboren 1953 in Nürnberg, verheiratet, zwei Kinder, wohnhaft in Heilbronn-Böckingen
    • Mathematisch-Naturwissenschaftliches Gymnasium (AKG) in Schwabach bei Nürnberg
    • 1975 bis 1980 Maschinenbaustudium an der Technischen Universität in München
    • 1980 bis 1984 Lehrstuhl für Feingerätebau und Mikrotechnik, Technische Universität München
    • 1984 bis 1987 Siemens AG, München, Werk für Textendgeräte
    • 1988 bis 1994 Siemens AG, Berlin, Werk für Textendgeräte
    • 1994 Herlitz AG, Berlin-Tegel
    • 1995 bis 1996 Technologiestiftung Berlin


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