Obwohl die Anfänge der Mikrosystemtechnik erst rund dreißig Jahren zurück liegen, ist ohne sie heute genauso wie das Internet kein technischer Fortschritt denkbar. Das mit Mikrosystemen vollgestopfte Smartphone ist sicher das bekannteste Produkt. Indes, heute leisten unzählige Mikrosysteme – meist im Verborgenen – auch in jedem Kraftfahrzeug sowie in allen anderen modernen mechatronischen Produkten unverzichtbare Dienste. Last but not least sind Solarzellen und Leuchtdioden, beides Kinder der Mikrosystemtechnik, wichtige Technologien, die Klimakatastrophe noch abzuwenden.
In der 4-SWS-Vorlesung Mikrosystemtechnik erläutere ich zunächst die wichtigsten Grundlagen zur Physik, Herstellung und Qualitätssicherung von Mikrosystemen. Dabei stelle ich auch Vieles vor, was sicher für jeden Ingenieur der Mechatronik früher oder später nützlich sein wird.
Im zweiten Vorlesungsteil erkläre ich Ihnen Aufbau und Funktion der wichtigsten sensorischen und aktorischen Anwendungen von Mikrosystemen. Genannt seinen hier Sensoren zur Messung von Druck, Beschleunigung, Drehrate und Licht (einschließlich Solarzellen). Aktorische Produkte wären z. B. Druckköpfe, Motoren, Getriebe und Leuchtdioden.
Vorlesungthemen
Seit Oktober 1996 Hochschule Heilbronn