Obwohl die Anfänge der Mikrosystemtechnik erst rund dreißig Jahren zurück liegen, ist ohne sie heute genauso wie das Internet kein technischer Fortschritt denkbar. Das mit Mikrosystemen vollgestopfte Smartphone ist sicher das bekannteste Produkt. Indes, heute leisten unzählige Mikrosysteme – meist im Verborgenen – auch in jedem Kraftfahrzeug sowie in allen anderen modernen mechatronischen Produkten unverzichtbare Dienste. Last but not least sind Solarzellen und Leuchtdioden, beides Kinder der Mikrosystemtechnik, wichtige Technologien, die Klimakatastrophe noch abzuwenden.

In der 4-SWS-Vorlesung Mikrosystemtechnik erläutere ich zunächst die wichtigsten Grundlagen zur Physik, Herstellung und Qualitätssicherung von Mikrosystemen. Dabei stelle ich auch Vieles vor, was sicher für jeden Ingenieur der Mechatronik früher oder später nützlich sein wird.

Im zweiten Vorlesungsteil erkläre ich Ihnen Aufbau und Funktion der wichtigsten sensorischen und aktorischen Anwendungen von Mikrosystemen. Genannt seinen hier Sensoren zur Messung von Druck, Beschleunigung, Drehrate und Licht (einschließlich Solarzellen). Aktorische Produkte wären z. B. Druckköpfe, Motoren, Getriebe und Leuchtdioden.

Vorlesungthemen

1. Einführung
   
2. Konzepte und Prinzipien
   
3. Werkstoffe und Substratherstellung
   
4. Vakuumtechnik
   
5. Schichterzeugung
   
6. Lithografie
   
7. Schichtstrukturierung
   
8. Schichtmodifikation
   
9. Mikromechanik
   
10. Prozesse
    
11. Reinraumtechnik
    
12. Messtechnik
    
13. Piezoresistive Sensoren
    
14. Kapazitive Sensoren
    
15. Optische Sensoren
    
16. Sonstige Sensoren
    
17. Einführung Aktorik
    
18. Piezoelektrische Elemente
    
19. Druckköpfe
    
20. Optische Aktoren (LED, DLP)
    
21. Sonstige Aktoren und passive Mikrosysteme
    
22. Aufbau- und Verbindungstechnik (optional)
    

• Geboren 1953 in Nürnberg, verheiratet, zwei Kinder, wohnhaft in Heilbronn-Böckingen
• Mathematisch-Naturwissenschaftliches Gymnasium (AKG) in Schwabach bei Nürnberg
• 1975 bis 1980 Maschinenbaustudium an der Technischen Universität in München
• 1980 bis 1984 Lehrstuhl für Feingerätebau und Mikrotechnik, Technische Universität München
• 1984 bis 1987 Siemens AG, München, Werk für Textendgeräte
• 1988 bis 1994 Siemens AG, Berlin, Werk für Textendgeräte
• 1994 Herlitz AG, Berlin-Tegel
• 1995 bis 1996 Technologiestiftung Berlin

Seit Oktober 1996 Hochschule Heilbronn

• Fakultät Technik
  
• Studiengang Mechatronik und Robotik 
• Mitglied des Instituts für angewandte Forschung (iaf)
• Mitglied im Institut für Kraftfahrzeugtechnik und Mechatronik (IKM)
• Juli 2007 bis Juli 2011 Geschäftsführer des Instituts für angewandte Forschung (iaf)
• seit Oktober 2011 Leiter des Steinbeis-Transferzentrum Technische Beratung an der Hochschule Heilbronn
• Schwerpunkte in der Lehre: Mikrotechniken, Produktentwicklung, Innovationstechniken
• Schwerpunkt in der Forschung: Tintendrucktechnologie und Mikrodosierung
• seit März 2019 emeritiert
• Vorstand des Vereins Faszination Technik e. V.
• Heilbronner Institut für lebenslanges Lernen (HILL)