Prof. Dr.-Ing. Wolfgang Wehl

Labor Mikrosystem- und Fertigungstechnik

Unser Hauptlabor befindet sich im Gebäude E in Raum E703 (Untergeschoss).

Das Labor wird betreut von Dipl.-Ing. Jens Gerdes

Bezeichnung Außergewöhnliche Ausstattung
Hauptlabor E703
135 m²
T: 07131-504-351
  • CO2-Laserschneidanlage Typ Sei H-Type
  • Sputteranlage Typ: JFC-1200
  • Vakuumbedampfungsanlage Typ: BA 510
  • Hochgeschwindigkeits-Videomesssystem von Mikrotron
  • Infrarot-Thermometer Typ: MX 2 CFD
  • Mikromanipulatorsystem mit Dispenser- und Fräseinheit Typ: GM-100
  • Rasterelektronenmikroskop Typ: JSM-5510
  • Hochspannungs-Labornetzgerät Typ: LNC 6000-10
  • Stickstoffquelle Typ: Nitrox UHPN0751
  • Xenon-Stroboskop Typ: SYSMAT ST15RE
Reinraum D705
ca. 80 m²
T: 07131-504-446
  • Flip-Chip-Bonder von FEINTECH
  • Spritzgießmaschine von Krauss-Maffei Kunststofftechnik
  • Auflichtmikroskop mit integriertem Rastersondenmikroskop von Axiotech
Testlabor E705
22 m²
T: 07131-504-410
  • Klimaschrank
  • Hochtemperaturofen
CAM-LaborA807/8
83 m²
T: 07131-504-203
  • CNC-Fräsmaschine FP4
  • Drehbank
Laborwerkstatt und Lager
36 m²
  • Kompressor
  • Sandstrahl-Reinigungsanlage
  • Kreissägen für Holz und Leichtmetalle
  • Schleifmaschine

Bild aus dem Labor E703

Mikrosystemtechnik-Labor E703

links: Rasterelektronenmikroskop JSM-5510 von Jeol
Mitte: Vakuum-Bedampfungsanlage BA 510 von Balzers
rechts: Laminarflowboxen