Prof. Dr.-Ing. Wolfgang Wehl

Labor Aufbau- und Verbindungstechnik

Veranstaltungsnummer 131193


Das Praktikum Mikrotechnik findet im Reinraum (D705) und im Labor für Mikrosystem- und Fertigungstechnik (E703) statt. Ich führe es stets in Form eines oder mehrerer kleiner Projekte ohne zeitliche Fixierung durchgeführt. Wenn Sie sich für das Praktikum interessieren, melden Sie sich bitte bei Prof. Wehl.

Folgende Themen (exemplarisch) werden durch Versuche und Exkursionen im Praktikum Mikrotechnik behandelt:

  • Arbeiten an einem Vakuumprüfstand
  • Herstellung von Dünnfilmbeschichtungen durch Vakuumbedampfen
  • Untersuchungen von Bauelementen der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik
    • Optische Analyse von Bauelementen der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik
    • Messungen mit einem modernen Rasterelektronenmikroskop (REM)
    • Messungen mit einem Rastersondenmikroskop (in Zusammenarbeit mit Prof. Ott)
  • Flip-Chip-Bonden mit dem Flip-Chip-Bonder