Prof. Dr.-Ing. Wolfgang Wehl

Vorlesung "Mikrotechnische Bauelemente"

Bachelor-Vorlesung 131253


Vorlesungsinhalte

  1. Einführung
  2. Konzepte und (Fertigungs-) Technologien
    1. Technische Systeme
    2. Was ist Mikrosystemtechnik?
    3. Hybride und monolithische Mikrosysteme
    4. Herstellung von Mikrosystemen (Zusammenfassung)
    5. Wandler- und Aufbauprinzipien von Sensoren
    6. Physikalische Effekte und Messgrößen
  3. Sensorik
    1. Piezoresistive Sensoren
      1. Piezoresistiver Effekt
      2. Piezoresistive Drucksensoren
        • Druckmessung
        • Herstellung und Aufbau
        • Abgleich und Betrieb
        • Anwendung und Applikationen
      3. Sonstige piezoresistive Sensoren
    2. Kapazitive Sensoren
      1. Kapazitive Effekte
      2. Sensoren in Volumen-Mikromechanik
      3. Sensoren in Oberflächen-Mikromechanik
        • Beschleunigungssensoren
        • Drehratensensoren
    3. Optische Sensoren
      • Lichtsensoren
      • Positionssensoren
      • Charge-Coupled-Devices (CCD)
    4. Chemische Sensoren
    5. Strömungssensoren
    6. Neigungssensoren
    7. Biologische Sensoren
  4. Aktorik
    1. Aktorprinzipien für die Mikrosystemtechnik
    2. Piezoelektrische Aktoren
    3. Mikrosysteme mit Aktoren
      • Drop-on-Demand-Drucksysteme
      • Ventile und Pumpen
      • Klappspiegel
      • Mikromechanische Relais
      • Shutter, Motore und Getriebe
      • Sonstige Aktoren
  5. Passive Bauelemente und Ausblick
Zur Vorlesung, die komplett multimedial aufbereitet ist und in der z. Z. insgesamt 60 Filme und Animationen gezeigt werden, gibt es ein überwiegend farbiges Skript mit einem Umfang von 43 Seiten. Das Skript enthält alle Bilder und Grafiken.

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