| Mechatronik-Zentrum |
Reinraum des Instituts (Mechatronik-Zentrum) Raum D705
eingerichtet von der m+w Zander Holding GmbH |
siehe eigene WebSite |
| Mechatronische Fertigungstechnik |
CNC-Fräsmaschine
Typ: FP4
Hersteller Deckel (D)
Raum A807 |
Drei Achsen plus Rundtisch, Arbeitsraum |
CNC-Präzisionsdrehmaschine
Typ: Alpha 330S
Hersteller: Harrison (GB)
Raum D110 |
CIM-Steuerung, Spitzenhöhe 150 mm, Spitzenweite 1000 mm |
CNC-Präzisionsfräsmaschine mit Nd:YAG-Laser
Typ:
Kern Micro- und Feinwerktechnik GmbH & Co.KG (D)
TRUMPF Laser GmbH + Co. KG (D)
Raum D124 |
Fünf-Achsen-Kinematik mit Heidenhain-xyz-Steuerung |
Hochtemperaturofen
Typ: CWF 11/13
Hersteller: Carbolite GmbH
Raum E705 |
max. 1100°C, mit Inliner schutzgasfähig |
Mikromanipulatorsystem mit Dispenser- und Fräseinheit
Typ: GM-100
Hersteller:ATV Technologie GmbH (D)
Raum D705 |
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Rapid-Prototyping-Anlage
Typ: Dimension 3D Printer
Hersteller: alphacam Fertigungssoftware GmbH (D)
Raum D131 |
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| Mikrotechnische und Elektronik-Fertigung |
Flip-Chip-Bonder
Hersteller: FEINTECH GmbH & Co.KG (D)
Raum D705 |
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Fräsbohrplotter
Typ: ProtoMat
Hersteller: LPKF (D) |
Rapid Prototyping von Leiterplatten |
Spritzgießmaschine
Hersteller: Krauss-Maffei Kunststofftechnik GmbH (D)
Raum D705 |
reinraumtauglich |
Sputteranlage
Typ: JFC-1200
Hersteller: Jeol GmbH (Japan)
Raum E703 |
zur Metallisierung von nichtleitenden Proben für nachfolgende Untersuchungen im REM |
Vakuumbedampfungsanlage
Typ: BA 510
Hersteller: Balzers AG (CH)
Raum E703 |
PVD-Dünnfilmbeschichtung |
| Messtechnik |
Auflichtmikroskop mit integriertem Rastersondenmikroskop
Typ: Axiotech
Hersteller: Carl Zeiss (D) und Surface Imaging Systems S.I.S. (D)
Raum D705 |
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Ellipsometer
Typ: EL X-02C
Hersteller: DRE GmbH (D)
Raum D134 |
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Heterodyn-Messsystem
Hersteller: zur Erfassung von Auslenkungen im Sub-Mikrometerbereich
Raum D134 |
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Hochgeschwindigkeits-Videomesssystem
Hersteller: Mikrotron GmbH (D)
Raum E703 |
max 1000 Bilder pro Sekunde |
Infrarot-Thermometer
Typ: MX 2 CFD mit Laserfokussierung
Hersteller: Raytec GmbH (D)
Raum E703 |
-30 – 900°C, kleinster Messfleckdurchmesser 19 mm (6 mm mit Scharfpunktoptik) |
Rasterelektronenmikroskop (REM / SEM)
Typ: JSM-5510
Hersteller: Jeol GmbH (Japan)
Raum E703 |
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Röntgenanlage
Typ: bench|mate
Hersteller: phoenix|x-ray, Stuttgart (D)
Raum: F134 |
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Röntgenanlage
Typ: RTX-113 Dual VU
Hersteller: Glenbrook (USA)
Raum: F134 |
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Viskosimeter – Rheometer
Typ: DV-III
Hersteller: Brookfield (USA)
Raum: F134 |
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| Qualität und Test |
Klimaschrank
Typ: SB22/160/40
Hersteller: Weiss Umwelttechnik GmbH (D)
Raum E705 |
160 l, -40°C – 180°C, 10 – 98% rel. Feuchte |
Tropfenbeobachtungs-Prüfstand mit stroboskopischer Beleuchtung
Raum E703 |
Eigenentwicklung |
Vakuumprüfstand
Typ:
Hersteller: Leybold (D)
Raum E703 |
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| Sonstiges |
Hochspannungs-Labornetzgerät
Typ: LNC 6000-10
Hersteller: Heinzinger electronic GmbH (D)
Raum E703 |
6000 V, 10 mA |
Stickstoffquelle
Typ: Nitrox UHPN0751
Hersteller: Domnick Hunter (GB)
Raum E703 |
99,9999%-iger N2 0,7 l/min, 5 bar |
Xenon-Stroboskop
Typ: SYSMAT ST15RE
Hersteller: Polytec GmbH (D)
Raum E703 |
300 Blitz/s, 2 µs Blitzdauer |
